近日，据媒体报道，国内最早进的蚀刻巨头，中微半导体成功自研出了3nm蚀刻机！各项性能指标均已通过权威机构的检测，所有技术都是100%国产，更重要的是，这项创新装备已经开始量产。
如果把光刻机比喻为芯片制造的“魂”，那么蚀刻机就是“魄”，这两项装备在芯片制造产业中的重要性旗鼓相当。
“光刻”是指利用紫外线光源技术对设计好线路图的晶圆进行刻画。
“刻蚀”则是在光刻以后，用化学腐蚀液将硅片上过剩的部分“去除”，从而让晶圆变成半导体器件。
截至目前，中微半导体是全球唯逐一家都能生产3nm精度蚀刻机的企业。以“一代芯片，一代装备”来看，国产3nm蚀刻机毫无疑问将成功进入最早进3nm芯片制造的装备供应链。
全球最大的两家代工企业，台积电和三星均已向中微半导体下单。
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